計(jì)量技術(shù)中對(duì)工件加工面粗糙度的微觀幾何形狀特性的測(cè)量。比較常用的測(cè)量方法有比較法、觸針法、光切法和干涉法等。

1. 比較法將表面粗糙度比較樣塊根據(jù)視覺和觸覺與被測(cè)表面比較，判斷被測(cè)表面粗糙度相當(dāng)于那一數(shù)值，或測(cè)量其反射光強(qiáng)變化來(lái)評(píng)定表面粗糙度 ( 見激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù) ) 。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊，表面經(jīng)磨、車、鏜、銑、刨等切削加工，電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時(shí)可直接從工件中選出樣品經(jīng)過(guò)測(cè)量并評(píng)定合格后作為樣塊。利用樣塊根據(jù)視覺和觸覺評(píng)定表面粗糙度的方法雖然簡(jiǎn)便，但會(huì)受到主觀因素影響，不能得出準(zhǔn)確的表面數(shù)值。

2. 觸針法利用針尖曲率半徑為 2 微米左右的金剛石觸針沿被測(cè)表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長(zhǎng)度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)放大、濾波、計(jì)算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可以用記錄器記錄被測(cè)截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測(cè)量工具稱為表面粗糙度測(cè)量?jī)x，同時(shí)能記錄表面輪廓曲線的稱為輪廓儀，這兩種測(cè)量工具都有電子計(jì)算電路或電子計(jì)算機(jī)，它能自動(dòng)計(jì)算出輪廓算術(shù)平均偏差 Rα ，微觀不平度十點(diǎn)高度 RZ ，輪廓_高度 Ry 和其他多種評(píng)定參數(shù)，測(cè)量效率高，適用于測(cè)量 Rα 為 0.025 ～ 6.3 微米的表面粗糙度。

3. 光切法光線通過(guò)狹縫后形成的光帶投射到被測(cè)表面上，以它與被測(cè)表面的交線所形成的輪廓曲線來(lái)測(cè)量表面粗糙度。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡 1 后，以 45° 的傾斜角將狹縫投影到被測(cè)表面，形成被測(cè)表面的截面輪廓圖形，然后通過(guò)物鏡 2 將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測(cè)微目鏡和讀數(shù)鼓輪先讀出 h 值，計(jì)算后得到 H 值。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測(cè)量 RZ 和 Ry 為 0.8 ～ 100 微米的表面粗糙度，需要人工取點(diǎn)，測(cè)量效率比較低。